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上面的。 这一次光学研究所的目标还是非常大了，想直接将步进扫描投影曝光机，准备将集成电路图形的线宽缩小到035μ节点。 波长能达到193n光学光刻分辨率争取能达到70n极限，目标很宏大，自然需要的时间也不少。 限制芯片大小的主要关机就是在于光刻系统能获得的分辨率有关，而提升分辨率最有效的方法就是减小照射光源的波长，因此这个项目的关键就是开发和寻找新型的短波长的光源，研究不同的光源本来就是光学研究所的重要任务，所以这一次他们项目的重点也就是找到只有193n至是要比这个数字更短的光源。 而这项任务除了本身的研究实力，大量的实验之外，自然还需要不少运气了，陆见倒是记得光刻机的几种光源，大概是激光、紫外光、深紫外光，还有极紫外光，而极紫外光是后...

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